Gas sensing characteristics of $MoO_3$ thin films prepared by glancing angle magnetron sputtering
PBN-AR
Instytucja
Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji (Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie)
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
EN
Czasopismo
Sensor Letters (15pkt w roku publikacji)
ISSN
1546-198X
EISSN
1546-1971
Wydawca
American Scientific Publishers
DOI
Rok publikacji
2017
Numer zeszytu
6
Strony od-do
517--524
Numer tomu
15
Link do pełnego tekstu
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
0.6
Autorzy
Pozostali autorzy
+ 1
Słowa kluczowe
EN
magnetron sputtering
gas sensors
glancing angle deposition
molybdenum trioxide (MoO3)
Streszczenia
Język
EN
Treść
This paper presents the gas sensing characteristics of molybdenum trioxide (MoO3) obtained by medium frequency glancing angle magnetron sputtering method at various deposition and annealing temperatures. The gas sensor's response (S) to target gases was defined as the resistance ratio S = R gas/R air or R air/R gas where, R air and R gas are the electrical resistances for the sensor in air and in gas, respectively. The obtained sensors exhibit good response to hydrogen sulfide (H2S) and nitrogen dioxide (NO2) and very low to Volatile Organic Compounds (VOCs), such as: acetone and ethanol. Mentioned gases are considered as biomarkers of several diseases, with special emphasis to diabetes (acetone, ethanol), halitosis (hydrogen sulfide), asthma (nitrogen dioxide). The highest responses were obtained for films deposited at 300 °C and annealed at 400 °C for 4 h in air. The films phase composition and microstructure have been assessed by X-ray diffraction, scanning electron microscopy and energy dispersive X-ray spectroscopy methods.
Cechy publikacji
original article
peer-reviewed
Inne
System-identifier
idp:110218
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych