$VO_{x}$ thin films for gas sensor applications
PBN-AR
Instytucja
Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji (Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie)
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
EN
Czasopismo
Procedia Engineering
ISSN
EISSN
1877-7058
Wydawca
Elsevier Ltd.
DOI
Rok publikacji
2015
Numer zeszytu
Strony od-do
1153--1157
Numer tomu
120
Link do pełnego tekstu
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
0.35
Autorzy
Słowa kluczowe
EN
thin films
gas sensors
impedance spectroscopy
reactive sputtering
vanadium pentoxide
Konferencja
Indeksowana w Scopus
nie
Indeksowana w Web of Science Core Collection
tak
Liczba cytowań z Web of Science Core Collection
Nazwa konferencji (skrócona)
EUROSENSORS 2015
Nazwa konferencji
29th meeting of the EUROSENSORS conference
Początek konferencji
2015-09-06
Koniec konferencji
2015-09-09
Lokalizacja konferencji
Freiburg
Kraj konferencji
DE
Lista innych baz czasopism i abstraktów w których była indeksowana
Open access
Tryb otwartego dostępu
Otwarte czasopismo
Wersja tekstu w otwartym dostępie
Wersja opublikowana
Licencja otwartego dostępu
Creative Commons — Uznanie autorstwa-Niekomercyjne-Bez utworów zależnych
Czas opublikowania w otwartym dostępie
Razem z publikacją
Streszczenia
Język
EN
Treść
VOx-undoped and Ti -doped thin films were deposited onto insulating support (either fused silica or alumina) by means of rf reactive sputtering from a metallic vanadium target with mosaic Ti. Film thickness was varied between 200 - 600 nm. Argon oxygen gas mixtures of different compositions were used for sputtering. Structural properties and phase composition of as sputtered thin films were studied by X-ray diffraction at glancing incidence, GIXD and Scanning Electronic Microscopy (SEM). Electrical properties were determined by means of impedance spectroscopy at temperatures from RT to 400 degrees C. V205 thin films exhibited good response towards hydrogen, methane and propane. (C) 2015 The Authors. Published by Elsevier Ltd. This is an open access article under the CC BY-NC-ND license (http://creativecommons.org/licenses/by-ric-nd/4.0/) Peer-review under responsibility of the organizing committee of EUROSENSORS.
Cechy publikacji
original article
peer-reviewed
Inne
System-identifier
idp:095313
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych