LabVIEW controller for storage results and control parameters of low thickness antireflection coatings deposition processes
PBN-AR
Instytucja
Wydział Informatyki, Elektroniki i Telekomunikacji (Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie)
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
EN
Czasopismo
Elektronika : Konstrukcje, Technologie, Zastosowania
ISSN
0033-2089
EISSN
2449-9528
Wydawca
Wydawnictwo Czasopism i Książek Technicznych Sigma Not Sp. z o.o.
DOI
Rok publikacji
2016
Numer zeszytu
2
Strony od-do
31--34
Numer tomu
Link do pełnego tekstu
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
0.28
Autorzy
(liczba autorów: 4)
Pozostali autorzy
+ 2
Słowa kluczowe
EN
antireflective coatings
process control system
LabVIEW graphical programming
mass flow controller
PL
programowanie graficzne LabVIEW
powłoki antyrefleksyjne
regulator przepływu masy
sterownik procesu
Streszczenia
Język
EN
Treść
System for control, visualization and storage of PVD processes data is presented in this paper. The system has been designed in LabVIEW environment and has been implemented successfully in optical industry. Visualization is very intuitive for the operator and gives easy control of all important process data. Stored process data help improve the quality of the coatings and provide the ability to analyze processes. Low cost of implementation of the system also makes it a very useful tool for modifying older types of vacuum coaters and gives a possibility of gradual further expansion of systems.
Język
PL
Treść
W artykule przedstawiono system do kontroli, wizualizacji i zapisu danych procesów PVD. System został zaprojektowany w oparciu o środowisko LabVIEW i został z powodzeniem zastosowany w przemyśle optycznym. Wizualizacja jest bardzo intuicyjna dla operatora daje łatwą możliwość kontroli wszystkich parametrów procesu. Zapisane dane pomagają w polepszeniu jakości powłok i dają możliwość analizy procesów. Niski koszt wprowadzenie systemu czyni go również bardzo użytecznym narzędziem do modyfikacji starszego typu napylarek próżniowych oraz daje szansę stopniowej jego rozbudowy.
Cechy publikacji
original article
peer-reviewed
Inne
System-identifier
idp:096515
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych