Carrier Density Distribution in Silicon Nanowires Investigated by Scanning Thermal Microscopy and Kelvin Probe Force Microscopy
PBN-AR
Instytucja
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
en
Czasopismo
MICRON
ISSN
0968-4328
EISSN
Wydawca
PERGAMON-ELSEVIER SCIENCE LTD
DOI
URL
Rok publikacji
2015
Numer zeszytu
Strony od-do
93-100
Numer tomu
79
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
Autorzy
Pozostali autorzy
+ 5
Słowa kluczowe
en
Silicon nanowires; Scanning thermal microscopy; Kelvin probe force microscopy; Carrier density distribution; Pinch-off effect; TRANSISTORS; RESOLUTION; DEVICES
Open access
Tryb otwartego dostępu
Inne
Wersja tekstu w otwartym dostępie
Licencja otwartego dostępu
Czas opublikowania w otwartym dostępie
Streszczenia
Język
en
Treść
The use of scanning thermal microscopy (SThM) and Kelvin probe force microscopy (KPFM) to investigate silicon nanowires (SiNWs) is presented. SThM allows imaging of temperature distribution at the nanoscale, while KPFM images the potential distribution with AFM-related ultra-high spatial resolution. Both techniques are therefore suitable for imaging the resistance distribution. We show results of experimental examination of dual channel n-type SiNWs with channel width of 100 nm, while the channel was open and current was flowing through the SiNW. To investigate the carrier distribution in the SiNWs we performed SThM and KPFM scans. The SThM results showed non-symmetrical temperature distribution along the SiNWs with temperature maximum shifted towards the contact of higher potential. These results corresponded to those expressed by the distribution of potential gradient along the SiNWs, obtained using the KPFM method. Consequently, non-uniform distribution of resistance was shown, being a result of non-uniform carrier density distribution in the structure and showing the pinch-off effect. Last but not least, the results were also compared with results of finite-element method modeling
Cechy publikacji
ORIGINAL_ARTICLE
Inne
System-identifier
653237
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych