High-Resolution X-Ray Characterization of MID-IR Al0.45Ga0.55As/GaAs Quantum Cascade Laser Structures
PBN-AR
Instytucja
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Elektronowej
Informacje podstawowe
Główny język publikacji
en
Czasopismo
THIN SOLID FILMS
ISSN
0040-6090
EISSN
Wydawca
ELSEVIER SCIENCE SA
DOI
URL
Rok publikacji
2014
Numer zeszytu
Strony od-do
339-344
Numer tomu
564
Identyfikator DOI
Liczba arkuszy
Autorzy
Pozostali autorzy
+ 1
Słowa kluczowe
en
Quantum Cascade Lasers; X-ray diffraction; X-ray reflectometry
Open access
Tryb otwartego dostępu
Inne
Wersja tekstu w otwartym dostępie
Licencja otwartego dostępu
Czas opublikowania w otwartym dostępie
Streszczenia
Język
en
Treść
In this paper, the X-ray diffraction profiles of Quantum Cascade Laser (QCL) structures have been investigated. The examined structures were grown by molecular beam epitaxy. The crystallographic characterization was carried out using high resolution X-ray diffractometer. The information about thickness of individual layers and periodicity of the structures was derived from simulation of diffraction profiles calculated using dynamical diffraction theory. The influence of interface roughness on the shape of satellite peaks was studied. The particular attention has been paid to the analysis of the broadening of satellite peaks. The presented results show that broadening is due to the variation of thickness of individual layers. (C) 2014 Elsevier B.V. All rights reserved.
Cechy publikacji
ORIGINAL_ARTICLE
Inne
System-identifier
579375
CrossrefMetadata from Crossref logo
Cytowania
Liczba prac cytujących tę pracę
Brak danych
Referencje
Liczba prac cytowanych przez tę pracę
Brak danych